Fotomáscara Japão 2027
Photomask Japan 2027 é o 33o Simpósio sobre Photomask e NGL Mask Technology, realizado quarta-feira 7 de abril a sexta-feira 9 de abril de 2027 no Anexo Hall no PACIFICO YOKOHAMA, 1-1-1 Minato Mirai, Nishi-ku, Yokohama 220-0012, Japão.
O simpósio é organizado pela Photomask Japan e SPIE, co-organizados pela BACUS e EMLC, com uma exposição técnica em cooperação com a SEMI Japan. A língua oficial é o inglês. O programa abrange materiais para fotomáscaras; etapas do processo de fabricação de máscaras e equipamentos para desenvolvimento, gravura e limpeza; ferramentas e tecnologias de escrita de fotomáscara, incluindo escritores de EB de vários feixes; ferramentas e tecnologias para metrologia, inspeção e reparação; tecnologias e infraestruturas para máscaras de EVL, NIL e FPD; EDA, MDP, Curvilinear ILT e DTCO; fotomáscaras com RET, tais como PSM, OPC, SMO e múltiplos padrões; tecnologias de litografia relacionadas com fotomáscara; tecnologias de máscaras de NGL e suas aplicações, incluindo DSA; estratégia e desafios empresariais para soluções de máscaras totais; tecnologias de modelação para dispositivos semicondutores e eletrônicos; tecnologias de fabricação de semicondutores; embalagens avançadas e chiplets; tecnologias de escrita direta e litografia de feixe eletrônico; a utilização de IA para R&D e eficiência de fabricação de alto volume; e ferramentas de legado para máscaras de nó maduro. Um escopo de sessão dedicado abrange a tecnologia de fotomáscara e litografia na academia para estudantes universitários e pesquisadores de pós-doutorado, com um Prêmio de Melhor Poster Acadêmico e o Prêmio Acadêmico HOYA.
Os resumos são submetidos eletronicamente em formato PDF através do site do PMJ; o prazo de submissão é 30 de novembro de 2026 e o prazo do manuscrito é 31 de março de 2027. As notificações de aceitação são enviadas por e-mail até o final de janeiro de 2027. O Secretariado da Photomask Japan é c/o PCO, Inc., 2-25 Sakurabashidori, Toyama 930-0004, Japão ([email protected]); A coordenação SPIE Proceedings é gerida por [email protected].
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Yokohama – Pacifico Yokohama, Kanagawa, Japão